Разработка базовой технологии производства матричных фотоприёмных устройств на основе фотоприёмников

Раздел
Технические дисциплины
Предмет
Автотранспорт
Тип
Дипломная работа
Просмотров
253
Покупок
0
Эксперт
Размещена
3 Мар 2013 в 09:44
ВУЗ
Не указан
Курс
Не указан
Стоимость
5 000 ₽
Файлы работы   
1
Каждая работа проверяется на плагиат, уникальность минимум 40%.
docx
10
2.3 Мбайт 5 000 ₽
3 Мар 2013 в 09:44
Описание
для того чтобы получить эту работу или задать какие то вопросы по ней, вам необходимо пройти по регистрационной ссылке
https://studwork.org/?p=281
пройти регистрацию и тогда вы сможете приобрести и задать вопросы по этой работе.

Введение
1.Технические требования к технологии изготовления и конструкции матричного ФПУ
2. Базовая технология изготовления МФПУ
2.1. Разработка базовых технологических процессов изготовления МФПУ
2.1.1. Технологический маршрут изготовления матрицы ФЧЭ
2.1.1.1. Исходный материал
2.1.1.2. Просветляющие, защитные и маскирующие покрытия
2.1.1.3. Диффузия кадмия в запаянной ампуле
2.1.1.4. Способ диффузионного легирования из стеклообразных пленок
2.1.1.5. Контактная металлизация титан-золото.
2.1.1.6. Двусторонняя фотолитография
2.1.1.7. Стыковочные элементы – индиевые микроконтакты
2.1.2. Технологический маршрут изготовления БИС считывания и обработки сигнала
2.1.2.1. Формирование карманов..
2.1.2.2. Формирование электрической изоляции р-областей с использованием LOCOS технологии 2
2.1.2.3. Легирование нижних обкладок конденсатора фосфором
2.1.2.4. Легирование каналов р-канальных транзисторов бором
2.1.2.5. Формирование МОП-структуры
2.1.2.6. Легирование n+- и р+- областей
2.1.2.7. Межслойная изоляция
2.1.2.8. Формирование металлической разводки
2.1.2.9. Пассивация схемы
2.1.2.10. Проверка тестов, разбраковка
2.1.2.11. Формирование индиевых микроконтактов
2.1.3. Технологический маршрут сборки и контроля параметров матричного ФПУ
2.2. Разработка базовых технологических процессов изготовления матрицы ФЧЭ
2.2.1. Низкотемпературное осаждения пленок нитрида кремния
2.2.2. Формирование р-n-перехода
2.2.3. Фотолитографическое выделение элементов
2.2.4. Формирование контактной системы
2.2.4.1. Плазмо-химическое травление диэлектрических слоев и очистка контактных окон
2.2.4.2. Контактные площадки
2.2.4.3. Индиевые микроконтакты
2.2.5. Разработка процессов стыковки кристаллов из кремния и материала типа А3В5
2.3. Разработка базовых технологических про
Оглавление
Целью работы являлась разработка базовой технологии производства матричных фотоприёмных устройств на основе фотоприёмников из твёрдых растворов соединений А3В5, предназначенных для приборов ночного видения. Матричное фотоприёмное устройство включает матрицу фотодиодных чувствительных элементов на основе эпитаксиальных гетероструктур InGaAs/InP, кремниевую большую интегральную схему считывания и предобработки сигналов, герметичный корпус, термоэлектрический охладитель.
В результате выполнения дипломной работы впервые в России разработана базовая технология изготовления матричных ФПУ на основе эпитаксиальных гетероструктур InGaAs/InP спектрального диапазона 0,9 – 1,5. Разработаны конструктивные решения матричного ФПУ, выпущены комплекты рабочей конструкторской и рабочей технологической документации на матричное ФПУ. Разработаны и оформлены состав и методики испытаний ФПУ. Разработаны и изготовлены нестандартная технологическая и измерительная оснастка и измерительные установки для контроля ФПУ. С применением разработанной технологии изготовлен опытный образец ФПУ. Проведены его испытания, подтвердившие соответствие разработанных технологических решений требованиям ТЗ.
Другие готовые работы  
Ответы на билеты Билеты
20 Мая 2020 в 14:57
175
0 покупок
Тест Тест
13 Мая 2020 в 13:22
711
1 покупка
Тест Тест
13 Мая 2020 в 13:16
777
0 покупок
Доверьте свою работу экспертам
Разместите заказ
Наша система отправит ваш заказ на оценку 43 670 авторам
Первые отклики появятся уже в течение 10 минут
Показать ещё
Показать ещё
Отвечай на вопросы, зарабатывай баллы и трать их на призы.
Подробнее
Прямой эфир