Оборудование и технологическая подготовка производства нанопокрытий методом молекулярно-лучевой эпитаксии

В работе содержится анализ статей с практическими данными.

Уникальность текста: 64%

Введение 3

1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О НАНОПОКРЫТИЯХ 4

1.1. Методы получения нанопокрытий 8

1.2. Применение нанопокрытий 14

2. ОБОРУДОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ПОДГОТОВКА ПРОИЗВОДСТВА НАНОПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ 16

2.1. Метод молекулярно-лучевой эпитаксии 17

2.2. Оборудование метода молекулярно-лучевой эпитаксии 19

2.3. Технология получения полупроводниковых нанопокрытия методом молекулярно-лучевой эпитаксии 24

2.4. Технология выращивания магнитных нанопокрытий методом молеклярно-лучевой эпитаксии 28

Заключение 31

Список использованной литературы 32

1. Гусев, А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии / А. И. Гусев. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2005. - 411 с.

2. Защитные нанопокрытия [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://nanosintez.com/tech/protective_coat (20.03.2016).

3. Келсалл Р. Научные основы нанотехнологий и новые приборы. Учебник-монография. Пер. с англ.: Научное издание / Келсалл Р., Хэмли А., Геогеган М. – Долгопрудный: Издательский дом «Интеллект», 2011. – 528 с.

4. Нанопокрытие [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://www.plackart.com/coatings/nanopokrytie.html (20.03.2016).

5. Наноматериалы и нанотехнологии : монография / Анищик В. М. [и др.]. – Изд. центр БГУ. – Минск: 2008. – 375 с.

6. Белянин А. Ф. Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике [Электронный ресурс] / А. Ф. Белянин. – Москва, 2005. – Режим доступа: http://dspace.nbuv.gov.ua/bitstream/handle/ 123456789/53629/10-Belianin.pdf (22.03.2016).

7. Молекулярно-лучевая эпитаксия [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://belkin20.narod.ru/otvety/12.htm (22.03.2016).

8. Цаплин А.И. Фотоника и оптоинформатика. Введение в специальность: учеб. пособие / А.И. Цаплин. – Пермь : Изд-во Перм. нац. исслед. политехн. ун-та, 2012. – 399 с.

9. Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://helpiks.org/6-66715.html (22.03.2016).

10. Краткое описание вакуумного поста ВУП-4 [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://helpiks.org/5-17864.html (22.03.2016).

11. Павлов Д.А. Изучение основ гетероэпитаксиального роста при молекулярно-лучевой эпитаксии.: Практикум /Д. А. Павлов, С.М. Планкина – Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2013. – 26 с.

12. Wuwei F. Molecular beam epitaxy growth and magnetic properties of Cr-Co-Ga Heusler alloy films [Электронный ресурс] / F. Wuwei, W. Weihua. – China, 2015. – http://scitation.aip.org/content/aip/journal/adva/5/11/10.1063/ 1.4935949 (22.03.2016).